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日本SMC三級真空發生器 ZH10BL-06-06 ZH10DS-06-06-08 Available in series of 2 types: Box type （built-in silencer）, Body ported type

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SMC多級真空發生器真空泵系統ZL112-DNL 隨著數字真空壓力開關ZSE4 。此時供表壓力再增加，吸入口處壓力也不會再降低了，而耗氣量卻增加了。因此降低吸入口處壓力應從控制流速方面考慮。